卒業研究

実験風景

4年生の卒業研究では,ナノテクノロジーなどの最先端の技術の研究を行ないます.

上の写真はマグネトロンスパッタ装置を使ってナノメートルオーダーの膜厚の薄膜を積層し,スピンエレクトロニクスの素子を製作しているところです.

エレクトロニクス(電子工学)は,主に固体中を電子がどのように流れるかにまで注目し,その流れを制御する工学です. スピンエレクトロニクス(スピントロニクスともいいます)は,その流れる電子のスピン(自転)にも注目する新しいエレクトロニクスです.

マグネトロンスパッタ装置 放電

(マグネトロン)スパッタ装置とは,ナノメートルオーダーの薄膜を作製する装置です. その原理は,加速した希ガス(アルゴンなど)イオンを原料ターゲットに衝突させ,ターゲットから原料の原子を飛び出させ,その原子を基板に1個1個付着させます.

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